Si 基 GaN PIN 光电探测器结构

Si 基 GaN PIN 光电探测器结构

        GaN 及其合金材料,如 AlN、AlGaN、InGaN 和 InN,具有带隙大、光谱范围宽、耐高温和电子饱和漂移速度快等性质,在光电应用和微电子应用有重要价值。GaN 材料体系已被证实非常适合用于制作紫外波长的光电探测器。我们可提供硅基 GaN PIN 结构光电探测器外延片,具体结构如下仅供参考:

GaN on Si PIN光电探测器外延片

1. Si 基 GaN 外延结构

外延层 厚度
p GaN 0.1~0.3um
i- GaN
n GaN
u GaN
(Al, Ga)N 缓冲层
AlN
Si衬底

 

2. PIN 结构 GaN 光电探测器的优势与应用

        PIN 结构 GaN 光电探测器具有以下优势:

        1)高响应速度:PIN 结构 GaN 光电探测器具有较高的响应速度,能够快速地检测光信号的变化;

        2)低暗电流:PIN 结构 GaN光电探测器的暗电流较低,因而在不照射光的情况下,能够提高检测的灵敏度;

        3)调整本征层的厚度以调整其量子效率和工作速度:PIN 结构 GaN 光电探测器的本征层厚度可以通过工艺调整,从而优化器件的量子效率和工作速度;

        4)器件可以在低偏压下或者零偏压下工作:PIN 结构 GaN 光电探测器可以在较低的偏压下工作,从而降低了功耗和噪声。

        GaN 材料优异的物理化学特性使得 GaN 光电探测器在环境监测、生物检测、光通信、图像传感等领域具有重要应用。

 

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