GaAs 肖特基二极管外延片
可提供肖特基二极管(SBD)用 GaAs 外延片,具体结构如下:
1. GaAs 肖特基二极管外延片
外延层 | 厚度 |
GaAs | – |
GaAs | – |
GaAlAs | – |
GaAs | 0.05um |
GaAs衬底 | – |
2. 关于 GaAs 基肖特基二极管
肖特基二极管(又称肖特基势垒二极管)是一种基于金属-半导体接触制作的高速器件。采用高电子迁移率的 GaAs 半导体材料制备的肖特基二极管具有高功率、高灵敏度、低噪声等优点。GaAs 肖特基二极管可以实现高频信号的混频和倍频,广泛应用在太赫兹领域。
3. 肖特基二极管工艺结构
肖特基二极管主要有点接触与平面接触两种结构,如下图所示。其中,平面型接触结构是最常用的,主要利用金属蒸镀技术在半导体表面形成肖特基结,或利用离子注入技术在半导体内部形成肖特基结进行制备。
肖特基二极管结构(a)点接触型 (b)平面接触型
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