法布里珀罗(FP)激光器外延片
法布里-珀罗(FP)激光器是最常见的半导体激光器之一。目前,用于光纤通信的法布里珀罗激光器的制造技术已非常成熟,激光外延结构如双异质结多量子阱有源层,载流子和限制光结构已广泛应用。可供金属有机化学气相沉积技术生长、以 (In)GaAsP 量子阱为有源层的砷化镓衬底基法布里-珀罗激光外延片,激射波长为 698nm、780nm 或定制,具体外延的法布里珀罗激光器结构以 698nm 的为例:
1. 法布里珀罗激光外延片结构
外延层 | 厚度 |
GaAs | – |
GaInP | – |
AlInP | – |
AlInP | – |
AlGaInP | – |
AlGaInAs | – |
GaInAsP | – |
AlGaInAs | – |
AlGaInP | – |
AlInP | – |
AlInP | – |
GaInP | – |
GaAs | 0.5um |
GaAs衬底 |
2. 什么是法布里珀罗激光器?
法布里珀罗腔半导体激光器是一种半导体发光器件,以 FP 腔为谐振腔,发射多纵模相干光。FP 谐振腔,也称平面平行腔,是光学谐振腔的一种,由两个平行平面镜组成,常用于半导体激光器中。此光学谐振腔是法布里珀罗干涉仪的基础。
法布里珀罗激光器波长很宽,从可见光到中红外、远红外。法布里珀罗激光器广泛应用于电信行业、天文学等领域。该激光器的主要用于低数据速率短距离传输,传输距离可达 20 公里。
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